trichlórsilán

Trichlórsilán (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) je bezfarebná, vysoko prchavá kvapalina s ostrým, dusivým chlorovodíkovým zápachom. Vrie pri 31,8 stupňoch a prudko reaguje s vlhkosťou a je kľúčovou surovinou pre proces spoločnosti Siemens na výrobu-polysilikónu vysokej čistoty pre fotovoltaické solárne články a polovodičové doštičky. TCS sa tiež široko používa pri raste kremíkových epitaxných plátkov, syntéze organokremičitých látok (silikónové oleje, kaučuky, živice, spojovacie činidlá), CVD nanášaní tenkých vrstiev kremíka a ako selektívne redukčné činidlo v organickej syntéze. Dostupné v priemyselnej kvalite (väčšia alebo rovná 99,0 %) a elektronickej (až do čistoty 9N). Klasifikovaný ako reaktívny s vodou a vysoko horľavý (UN 1295, trieda 4.3+2.3, PG I) s extrémne širokým rozsahom výbušnosti 1,2 % – 90,5 %; manipulujte iba v prísne bezvodých podmienkach s ochranou suchým dusíkom.